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• ME 시스템, Mini-Environment System

  시스템. 클린 룸 내부에 있는 외부 오염원만 차단하는 단순한 개념에서 벗어나 ME 내부 온습도 분포 상태와 압력 분포, 중요 부분에서의 기류 속도 및 사용 재료에서 발생하는 아웃가스 등을 제어함으로써 최적의 상태로 만드는 시스템 기술이다. 따라서 작업 공간과 작업자를 분리시켜 클린 룸 내부와 ME 내부를...